Wissenswertes zur Interferometrie

Laserinterferometerie ist eine bewährte Methode zur hochpräzisen Messung von Längen.

Die Mess-Systeme von Renishaw zur Überprüfung der Leistungsfähigkeit von Maschinen, verwenden in allen Messmodi (nicht nur im linearen Modus) separate Interferometer sowie eine präzisionsstabilisierte Laserquelle, um höchste Präzision und Genauigkeit bieten zu können.

Seit über 20 Jahren produziert Renishaw Laserinterferometer-Systeme für den weltweiten Einsatz. Das Renishaw Laser-System ML10 ist heute zu einem Standard für Genauigkeit und zuverlässigen Einsatz geworden und ermöglicht lineare Messungen mit einer Genauigkeit von bis zu ±0,7 µm/m. Es ist das weltweit führende, hochgenaue, tragbare System zur Prüfung der Maschinengenauigkeit.

Die Geschichte der Interferometrie

Interferometrie – Der ultimative Messstandard

Die Verwendung von Lichtinterferenzen als ein Messinstrument wurde bereits in den 80er Jahren des 19. Jahrhunderts zum ersten Mal vorgeführt. Obwohl die Technologie seither weiterentwickelt wurde, hat sich am grundsätzlichen Prinzip der Verwendung von sehr kleinen, stabilen und akkurat definierten Lichtwellenlängen als eine Maßeinheit nichts geändert.

Kompensation der Umgebungseinflüsse

Ganz gleich, wie gut Ihre Lasereinheit auch ist (d.h. wie akkurat und „stabil“ sie ist), die Messwellenlänge kann sich verändern, wenn Licht durch Luft fällt, da sich die Lufttemperatur, der Luftdruck und die relative Luftfeuchtigkeit von den „Standardwerten“ unterscheiden.

Selbst die folgenden kleinen Veränderungen vergrößern die Laserwellenlänge (und gemessene Längen) um 0,25 µm/m

˜0,26 ºC Anstieg der Lufttemperatur

˜0,83 mbar Abnahme des Luftdrucks

˜29% Anstieg in %RH (bei 40 ºC)

Ohne eine zuverlässige und akkurate Wellenlängen-Kompensation wären Fehler von 20 µm/m bis 30 µm/m bei Längenmessungen üblich.

Umweltkompensationseinheiten stellen sicher, dass auch bei den unterschiedlichsten Einsatzbedingungen präzise XL-80 und ML10 Messungen durchgeführt werden können